Sobre o produto

Espirramento catódico RF, deposição de filmes finos e plasma de rádio frequência.

Pressão base de 10E-7 mBar. Eclusa para introdução/retirada de amostras. Medidor de Alto Vácuo Tipo Catodo Quente – Pirani. 03 Alvos de Sputtering com 6”. 01 Fonte RF de 600 watts. 01 Fonte DC Pulsada de 5kW. 01 Fonte DC 1.5 kW. 01 Sistema de Limpeza Iônica 1.5kW. Todas as fontes com “shutters” independentes. 01 Medidor de espessura SQM160. 04 Medidores de fluxo de massa. Controle Semi-Automático.

Contato

  • Dr. Gesil Sampaio
  • (73) 3680 5392

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